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      北京晨鑫設備技術有限公司

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      CVD系統

      CVD系統

      CVD系統

       

      這款配置的低真空CVD系統集1200度開啟式真空管式爐,多通道氣路系統和真空系統組成,可根據用戶需要設計生產(有雙溫區、三溫區、多溫區),可預抽真空(有高真空、低真空),通多種氣氛(供氣系統有質子流量控制器和浮子流量控制器)。真空泵、閥采用進口設備,性能可靠??刂齐娐愤x用PID程控技術,具有控溫精度高,溫沖幅度小,性能可靠,簡單易操作等特點。CVD生長系統適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實驗??梢远ㄗ錾a。

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