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      北京晨鑫設備技術有限公司

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      1200度單溫區4通道低真空CVD系統

      TL120011200-L-C雙溫區4通道低真空CVD系統

      TL120011200-L-C雙溫區4通道低真空CVD系統
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      CVD系統由供氣系統+管式爐+抽氣系統 ,最高溫度可以達到1200度、1400度、1600度、1700度,加熱區間可以是單溫區、雙溫區、三溫區等,極限真空可以達到10-3Pa,供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計,混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。

       

      這款CVD系統是由4路供氣系統+TL1200-1200雙溫區管式爐+低真空系統組成 

       

      這款管式爐以電阻絲(Canthal)為加熱元件,采用雙層殼體結構和日本島電控溫儀表,能進行40段程序控溫,移相觸發、可控硅控制,爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能等優點,是高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產品.。

       軟件控制系統:該爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數,并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數據保存起來,隨時可以調出。

       

       開蓋保護系統:該爐安裝有行程開關,當爐蓋打開時會自動切斷電源,有效地保證使用者的安全。

       

           密封系統:該爐頂蓋和爐門(其他地方已經焊接好)均采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸,氣密性好、可保證12小時壓力表指針不偏轉。

       

             真空系統:  可配TW-1.5A真空泵和能夠抽到10-1Pa真空泵或能夠抽到10-4Pa德國進口分子泵。

       

            爐膛材料:采用日本進口爐膛材料,不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡,抗熱漲冷縮能力強。

       

            加熱元件:  采用世界上一流電阻絲  瑞典Canthal A1 電阻絲  使用使用長,溫場均衡。      

       

             漏電保護功能:該爐裝了漏電空氣開關,當爐體漏電時自動斷電,以確保使用的安全性。

       

              供氣系統:該爐配有浮子流量計,客戶可通過浮子流量計或質子流量計控制氣體的流速(詳細請查看選件)。

       

             法蘭:采用雙環密封技術,有效的提高了法蘭的氣氛性,法蘭上裝有多種接頭,可接電阻真空計、KF25波紋管并能做成容易撤卸的鉸鏈式。 

       

            開蓋: 該爐上蓋的支撐采用了汽車升降桿,支撐好,用力輕。

       

            

        

       

      型號

      TL1200-1200-I

      TL1200-1200-II

      TL1200-1200-III

      功率

      3 KW

      3KW

      3KW

      爐管尺寸

      Dia 60(OD) X1000 mm

      Dia80(OD)X1000

      Dia80(OD)X1000

      電源電壓

      220V

       

      相數

      單相

      加熱元件

      電阻絲 0Cr7Al27M02

      控制方式(2組FP93島電表)

      40段程序控溫(日本島電),可以分成4、2、1組程序,如果分成4組程序,每條程序為10段,

      FP93 6組PID控制,低、中、高溫度段都能控制得很準確。

      具有過溫保護 斷偶保護過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,(當電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時,主電路上的交流繼電器會自動斷開,主電路斷開,面板上ON燈熄滅,OFF燈亮,有限的保護電爐)。 。

      儀表有華氏度(F)和攝氏度(C)可供選擇

      帶有485 通訊接口

      具有自動停機功能

      可以儲存多組程序、使用時可以任意調出。

       

      爐膛材料

      氧化鋁多晶體纖維

      (氧化鋁含量95%以上)日本進口

      控制精度

      +/- 1 ℃

      觸發器

      移相觸發

      電器

      浙江正泰

      可控硅

      106/16E 德國西門康

      第一、二溫區最高溫度

      1200 ℃

      第一、二溫區額定溫度

      1100 ℃

      升溫速率

      ≤30 ℃/ Min (可根據要求修改)

      推薦升溫速率

      ≤15 ℃/ Min

      熱電偶型號

      K型

      第一溫區加熱段長度

      205mm

      第二溫區加熱段長度

       

      205mm

       
      第一溫區恒溫段長度 80mm
      第二溫區恒溫段長度 80mm

      真空度

      --0.1MPa 分子泵抽能夠達到10-3Pa

       

       

      TW-1.5A VRD-4 CDK280分組泵機組

       

      1、一般粗略抽真空、把爐管里面的氣體趕出來用:TW-1.5A即可

      2、VRD-4能夠把管式爐爐管的真空度抽到0.4Pa(需要用波紋管)

      3、CDK分子泵機組能夠把管式爐爐管的真空度抽到10-3Pa

      真空法蘭

                                 

      鉸鏈式法蘭                   可以接電阻真空計和KF25波紋管的法蘭              普通式法蘭 

                                                          (該爐標配這種)

       

       

       

      電阻真空計(美國進口)(選購)(接口為KF16)

      認證

      四周表面溫度

      ≤45℃

      安全保護系統  

      爐體上帶有空氣開關和保險絲 ,當電流超過空開的額定電流時,空開會自動跳開,有效的保護電爐。  

       

      開蓋保護系統 該爐安裝有行程開關,當爐蓋打開時繼電器會自動切斷主電源,有效地保證使用者的安全 

       

       

       

       

      描敘

       

       

      數量

       

       

      圖片

      TL1200-1200 雙溫區管式爐

      1 臺

      石英管60mm OD x 1000mm L

      1根

      不銹鋼法蘭

      1 套

      不銹鋼爐鉤

      1 根

      氧化鋁爐塞

      2對

      高溫手套

      1 對

      氧化鋁坩堝

      5 個

      保險

      1 個

      COM轉USB接口

      1 套

      說明書

      1 份

       

       

      軟件

      1份

        

       

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