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      北京晨鑫設備技術有限公司

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      1400度單溫區2通道低真空CVD系統

      TL1400--L-C單溫區2通道低真空CVD系統

      TL1400--L-C單溫區2通道低真空CVD系統

       

             CVD系統由供氣系統+管式爐+抽氣系統 ,最高溫度可以達到1200度、1400度、1600度、1700度,加熱區間可以是單溫區、雙溫區、三溫區等,極限真空可以達到10-3Pa,供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計,混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。

       

             這款CVD系統是由2路供氣系統+TL1400管式爐+低真空系統組成

       

           TL1400 產品描述

       

          管式爐以硅碳棒為加熱元件,采用雙層殼體結構和日本島電控溫儀表,能進行40段程序控溫,移相觸發、可控硅控制,爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料碳爐管兩端能不銹鋼法蘭密封,不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表,抽真空時真空度能夠達到10-3 Pa ,該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能等優點,是高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產品.。

       

      軟件控制系統:該爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數,并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數據保存起來,隨時可以調出。

       

      密封系統:該爐法蘭采用雙重硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸,氣密性好、可保證12小時壓力表指針不偏轉。

       

      真空系統:可配TW-1.5A真空泵和能夠抽到10-1Pa真空泵或能夠抽到10-4Pa德國進口分子泵。

       

      爐膛材料:采用日本進口爐膛材料,不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡,抗熱漲冷縮能力強。

       

      加熱元件:采用Dia14mm直徑硅碳棒、硅碳棒直徑粗、表面負荷低,使用使用長。

       

      漏電保護功能:該爐裝了漏電空氣開關,當爐體漏電時自動斷電,以確保使用的安全性。

       

      供氣系統:該爐配有浮子流量計,客戶可通過浮子流量計或質子流量計控制氣體的流速(詳細請查看選件)。

       

      法蘭:采用雙環密封技術,有效的提高了法蘭的氣氛性,法蘭上裝有多種接頭,可接電阻真空計、KF25波紋管并能做成容易撤卸的鉸鏈式。

       

      TL1400-L-C 單溫區低真空CVD系統詳細技術參數

       

           

      TL1400管式爐技術參數

      型號

      TL1400-L-C-I

      TL1400-L-C-II

      TL1400-L-C-III

      功率

      4KW

      4KW

      6KW

      爐管尺寸

      Dia 60(OD) X1000 mm

      Dia80(OD)X1000

      Dia100(OD)X1000

      電源電壓

      220V

      相數

      單相

      加熱元件

      硅碳棒

      控制方式

      40段程序控溫(日本島電),可以分成4、2、1組程序,如果分成4組程序,每條程序為10段,

      FP93 6組PID控制,低、中、高溫度段都能控制得很準確。

      具有過溫保護斷偶保護過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷。

      儀表有華氏度(F)和攝氏度(C)可供選擇

      帶有485 通訊接口

      具有自動停機功能

      可以儲存多組程序、使用時可以任意調出。

      爐膛材料

      氧化鋁多晶體纖維

      (氧化鋁含量95%以上)日本進口

      控制精度

      +/- 1 ℃

      觸發器

      移相觸發(帶軟啟動和限流功能)

      電器

      浙江正泰

      可控硅

      106/16E 德國西門康

      最高溫度

      1400 ℃

      額定溫度

      1350 ℃

      升溫速率

      ≤10 ℃/ Min (可根據要求修改)

      推薦升溫速率

      ≤5 ℃/ Min

      熱電偶型號

      B型

      加熱段長度

      260mm

      真空法蘭

                               

      鉸鏈式法蘭    額   可以接電阻真空計和KF25                     普通式法蘭 

       (選件)                波紋管的法蘭   (標配)                              

       

       

                                                                      

      認證

                  

       

      四周表面溫度

      ≤45℃

       

      供氣系統

      二路浮子流量計

      (可選)

              

      二路質子流量計

      (該系統配這套)

       

      三路質子流量計

      (可選)

        

      四路質子流量計

      (可選)

        

      五路質子流量計

      (可選)

       
       

      真空系統

       

       

      VS-0.1低真空系統

      (可選)

       
       

         VS-高真空系統

                (可選)

       

      真空度檢測系統

      進口電阻真空計

       

       

       

      國產電阻真空計

        

       

       

       

       

       

      管式爐標準配件

       

       

       

      描述

       

       

      數量

       

       

      圖片

      TL1400 管式爐

      1 臺

       

      剛玉管

      1 根

       

       

      不銹鋼法蘭

      1 對

      不銹鋼爐鉤

      1根

      氧化鋁爐塞

      2對

      高溫手套

      1 雙

      氧化鋁坩堝

      5 個

      S型熱電偶  1個            

      保險

      1個

      COM轉USB接口

      1 付

      加熱元件(除開爐子上配的) 2支

      說明書

      1 份

       

       

      軟件

      1 份

       

       

       

       

       

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